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抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞，壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面，使膜片產(chǎn)生微小的形變，厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個(gè)惠斯通電橋（閉橋），由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng)，使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào)，標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0/3.0/3.3 mV/V等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。
　　通過(guò)激光標(biāo)定，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0～70℃，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。

　　陶瓷壓力傳感器特點(diǎn)
　　堅(jiān)固的陶瓷敏感膜片
　　零點(diǎn)、滿量程激光標(biāo)定
　　卓越的抗腐蝕、抗磨損性能
　　抗沖擊、抗震動(dòng)
　　高精度、高穩(wěn)定性
　　寬的工作溫度范圍
　　體積小巧，易封裝
　　更具競(jìng)爭(zhēng)力的價(jià)格
　　陶瓷壓力傳感器技術(shù)參數(shù)
　　供電電壓：5～30VDC
　　橋臂電阻：11k±20%
　　量程范圍：100kPa～60Mpa
　　響應(yīng)時(shí)間：《1mS
　　綜合誤差（包括：線性、遲滯、重復(fù)性）：0.2～0.4FS%
　　零點(diǎn)輸出：0±0.2mV/V
　　滿量程輸出：2.0～4.8mV/V
　　溫度特性（溫補(bǔ)范圍：0～70℃）：±0.015%FS/℃
　　穩(wěn)定性：《0.2%FSO/年
　　工作溫度：-40～135℃
　　抗絕緣性：》2kV
　　陶瓷壓力傳感器的結(jié)構(gòu)圖
　　陶瓷壓力傳感器的基本結(jié)構(gòu)包括：
　　一個(gè)足夠厚和硬的基座，所以在外力的作用下，我們可以認(rèn)為基座不會(huì)變形；
　　在上面覆蓋有一層膜片，直徑與傳感器外圍的尺寸基本一致。
　　在這兩層之間，是一個(gè)用（紅色）玻璃在高溫下封裝的空間，它將兩層緊緊結(jié)合在一起。因此，機(jī)械
　　的夾緊和空間的封裝是同時(shí)進(jìn)行的。
　　當(dāng)施加壓力時(shí)，膜片的自由部分會(huì)彎曲，用玻璃封裝的紅色夾層不會(huì)移動(dòng)。
　　膜片的形變會(huì)被4個(gè)壓敏電阻感知，這些電阻共同組成惠斯通電橋。
　　膜片的外圍直徑比會(huì)基座的外圍直徑略小，這樣使得用玻璃封裝過(guò)程中可能產(chǎn)生的不一致，不會(huì)對(duì)傳
　　感器封裝到外殼中時(shí)產(chǎn)生問(wèn)題。
　　陶瓷壓力傳感器結(jié)構(gòu)組成
　　陶瓷壓力傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體，采用95%的AL2O3瓷精加工而成，要求平整、均勻、質(zhì)密，其厚度與有效半徑視設(shè)計(jì)量程而定。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫?zé)瞥尚汀Ｌ沾赡てc瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料，通過(guò)厚膜印刷、熱燒成技術(shù)燒制在一起，形成周邊固支的感力杯狀彈性體，即在陶瓷的周邊固支部分應(yīng)形成無(wú)蠕變的剛性結(jié)構(gòu)。在陶瓷膜片上表面，即瓷杯底部，用厚膜工藝技術(shù)做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙，通過(guò)限位可防止膜片過(guò)載時(shí)因過(guò)度彎曲而破裂，形成對(duì)傳感器的抗過(guò)載保護(hù)。
　　陶瓷壓力傳感器分類
　　陶瓷壓力傳感器的基材都是Al2O3陶瓷，根據(jù)實(shí)現(xiàn)的原理可以分為電容式壓力傳感器和壓阻式壓力傳感器。
　　陶瓷電容式壓力傳感器
　　陶瓷基板與隔膜鍍上金屬作為電極使用。兩種陶瓷部件通過(guò)玻璃密封連接在一起，保持可控間隙，以便兩個(gè)金屬電極形成電容。如果施加壓力，那么將改變基板與隔膜的間隙，從而改變傳感元件的電容量，通過(guò)后續(xù)的處理電路形成壓力相關(guān)信號(hào)輸出。
　　由于陶瓷膜片邊緣固定在陶瓷基座上，周邊支撐，受力時(shí)中間形變大，邊緣形變小，電容量產(chǎn)生非線性并使靈敏度降低。為了減少溫度影響和邊緣效應(yīng)，設(shè)計(jì)時(shí)在陶瓷膜片上設(shè)置一圓形的單電極作為公共電極，陶瓷蓋板上設(shè)置雙電極并使面積相等，構(gòu)成同軸環(huán)狀的雙電容傳感器。中心為測(cè)量電容Cp，邊緣環(huán)形為參考電容Cr，Cr的外側(cè)是固支邊。后續(xù)的信號(hào)調(diào)理電路處理的是兩電容的壓差，利用方波激勵(lì)信號(hào)把Cp和Cr的變化量分別轉(zhuǎn)換為直流電壓輸出，通過(guò)兩輸出電壓的差值信號(hào)來(lái)測(cè)量外加壓力的大小。雙電容結(jié)構(gòu)大大減小了傳感器系統(tǒng)的非線性誤差，同時(shí)在環(huán)境溫度變化時(shí)，由于兩電容感受同一溫度的變化，溫度對(duì)它們產(chǎn)生的溫度效應(yīng)是一致的，這就抵消了溫度變化帶來(lái)的測(cè)量誤差，實(shí)現(xiàn)溫度自補(bǔ)償?shù)淖饔谩?br /> 　　陶瓷壓阻式壓力傳感器
　　壓阻式壓力傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體，其上用厚膜工藝技術(shù)形成惠斯頓電橋作為傳感器的電路，由于電阻的壓阻（形變）效應(yīng)，產(chǎn)生電壓信號(hào)。

　　厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面，連接成一個(gè)惠斯通電橋（閉橋），當(dāng)壓力為零時(shí)，電橋處于平衡狀態(tài)，輸出端電壓為零；當(dāng)施加壓力于電橋時(shí)，膜片產(chǎn)生形變導(dǎo)致電橋的四個(gè)電阻阻值發(fā)生變化，電橋處于不平衡狀態(tài)，產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號(hào)。由于電阻的壓阻（形變）效應(yīng)，產(chǎn)生電壓信號(hào)。標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0/3.0/3.3 mV/V等，可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。通過(guò)激光標(biāo)定，傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性，傳感器自帶溫度補(bǔ)償0～70℃，并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。

keyword：陶瓷壓力傳感器

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